Il tuo array è numerico quindi devi fare un ciclo leggendoti ogni elemento e scrivendolo nel file. Aggiungi il ritorno a capo ad ogni elemento. Il file viene creato in automatico se non esiste. L'istruzione da usare è Open nomefile For Output As #numero, un numero che ti identifichi il file. Per scriverci dentro usa Print #numero, valore, alla fine chiudi il file con Close #numero. Per creare un file Excel è diversa la cosa, ma potresti invece crearti un file con estensione csv, viene letto da excel senza problemi, l'unica cosa i valori da scrivere nel file devono essere tra doppi apici, esempio:
"1"
"2"
....
se vuoi scrivere su più colonne separa i valori con la virgola in questo modo:
"primo elemento","1"
"secondo elemento","2"
...........
Prova anche l'istruzione Write invece di print in questi casi in modo da avere il valore tra doppi apici.

Ciao